MKS 直流電源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是經過現場長期驗證，久經機臺測驗的高可靠性和優良性能的直流電源。MKS DCG系列直流電源具有一個前置主斷路器，電源和故障狀態led，和一個后部八腳連接器，輸出功率10KW，直流電機扭力Max 12 in/LB 。該系列直流電源設備具有優秀的工藝穩定性和控制能力，能夠實現對輸出功率的精準控制，廣泛應用在半導體制程的薄膜工藝中。

MKS DCG Series 設備特點

1.前置主斷路器

2.電源和故障狀態等

3.八腳連接器

MKS 直流電源 DCG-200Z OPTIMA 10KW 技術參數

設備品牌：MKS

設備型號：DCG-200Z OPTIMA                                                                                                            

AC 電源輸入：3 phase~，480V（+5% ~ 8%），30A，50/60Hz

總輸出功率：10KW

單路輸出功率，10KW（Max.）

通信接口：SERIAL、DeviceNet、Analog、M/S COMM

散熱方式：風冷散熱

設備重量：24kg（53lbs）