NIHON KOSHUHA 微波電源 MKN152-3S9-PS Microwave Power Supply 是經過現場長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能微波電源。MKN系列微波電源的輸出功率范圍為300W ~ 10KW，響應迅速，能夠實現對輸出功率的精準控制，是具備高穩定性，低波紋的微波電源。該系列微波電源是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源，主要運用于微波等離子CVD、微波ECR等離子等半導體制造進程中。                                                                                                                                                                                                          

NIHON KOSHUHA 微波電源 MKN152-3S9-PS 技術參數

輸出頻率：2450 ± 30MHz

額定輸出功率：150W ~ 1500W

輸出法蘭：BRJ-2

功率輸出穩定度：電源電壓±10%的變動，Max輸出的±1%以下

輸出波紋：Max 輸出值的5%pp以下

AC輸入：3phase，220V，3.1KVA

散熱方式：風冷散熱

尺寸大小：480 * 500 * 199 mm

設備重量：25公斤