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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>COMDEL>> CX-600SCOMDEL 高頻射頻電源 CX600S 13.56MHz 600W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | FP3135R1 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | CX-600S | P/N | FP3135R1 |
| 頻率 | 13.56MHz | 輸出功率 | 600W |
| 設備狀態 | Refurblished |
COMDEL 高頻射頻電源 CX600S 13.56MHz 600W RF GENERATOR 是經過長期驗證的、可靠的高性能、高頻率的射頻發生器。COMDEL CX Series 射頻電源的輸出功率范圍在600W~2500W，射頻輸出頻率為2MHz~30MHz，頻率調諧能力高達10帶寬。該系列設備的固態設計具有高可靠性，擁有成本低。COMDEL CX Series的設計是為了滿足RF驅動等離子體系統在半導體加工中的性能需求，應用包括蝕刻、RIE、平行板、ICP、RF濺射、CVD和PVD，以及工業系統中的感應和介質加熱過程，以及太陽能光伏應用。
COMDEL 高頻射頻電源 CX Series 特點
1.高頻射頻電源，頻率為2MHz~30MHz
2.久經測試的可靠的真空等離子設備
3.較高的射頻調諧能力
COMDEL 高頻射頻電源 CX600S 13.56MHz 600W 規格
1.AC輸入：230V
2.射頻輸出：600W，175 VRMS，50 OHM
3.水冷進水需求：MAX 水溫 25℃，MAX 水流 1.9L/min，MAX 水壓 60 psi(240kPa)
4.通訊接口：J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c
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