旋轉鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備，采用旋轉滾筒設計，專用于實現聚對二甲苯的均勻涂布。設備結構緊湊，集成內置泵與冷卻裝置，適用于處理尺寸較小的基材。
Parylene派瑞林真空鍍膜設備廣泛應用于多個行業，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設備，配備多種可選裝置與附加組件，旨在確保涂層工藝的成功實施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數系統均具備以下功能配置：
- 可定制腔體尺寸
- 支持選配等離子體源
- 配備冷卻系統及集成泵系統
旋轉鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設備Series 2000
| 尺寸 | L:2600mm W:960mm H:1460mm |
| 重量 | 200kg |
| 腔體容量 | 80L |
| 工藝腔體 | 400mm ? ，H: 600mm |
| 氣路 | 1 路氣體通道（內置工藝腔室的氣體分配系統），最多可擴展至 3 路氣體通道。 |
| 冷卻系統 | 4L（機電式冷阱） |
| 真空連接 | DIN 40 ISO-KF |
| 排氣 | 電磁式排氣閥 |
| 真空泵 | 抽速50m3/h |
| 電氣連接 | 三相五線制，交流 50 Hz，電壓 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型，也有適用于工業量產領域的工業機型。同時，我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源，實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計，在小占地面積下提供高性能技術，節約大量的超凈間占地空間。
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