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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>Labcoater Series 300 Parylene派瑞林鍍膜機

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Labcoater Series 300 Parylene派瑞林鍍膜機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 Labcoater Series 300
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/7/4 16:29:49
  • 訪問次數 87

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那諾中國有限公司專注于為大中華區域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

Parylenen派瑞林鍍膜機是一款多功能設備,專為實驗室應用優化設計,配備內置等離子體源,可用于材料表面預處理。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。


Parylene派瑞林鍍膜機


該型號的Parylenen派瑞林鍍膜機具有以下特點:

1、Labcoater Series 300 既適用于科研實驗室,也可用于生產環境;

2、特別針對中小型企業和研發團隊的需求進行功能優化;

3、通過配置多種可選組件,進一步提升設備的適用性與靈活性,其工藝腔室容積可根據需求調整,最小容積可達 251 L;

4、設備標準配置包含等離子體處理模塊;

5、提供潔凈室專用版本供選擇;

6、可根據實際需要,在四種不同腔體容積中進行選型。


Labcoater Series 300 派瑞林真空鍍膜設備:

尺寸
L:1220mm  W:1050mm  H:1920mm
重量110kg
腔體容量25/35/40/80L
工藝腔體

300mm ?,H: 300mm (25 Liter)

300mm ?,H: 350mm (35 Liter)

450mm ?,H: 500mm (80 Liter

等離子源
2.45GHz,600 W
氣路
1 路氣體通道(內置工藝腔室的氣體分配系統),最多可擴展至 3 路氣體通道。
冷卻系統
4L(機電式冷阱)
真空系統
DIN 40 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速50m3/h
電氣連接
三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


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