光伏硅片切割冷卻用冷水機組是專為單晶硅、多晶硅、碳化硅等材料切割工藝設計的高精度溫控設備，可精準控制切割液溫度在 5℃~35℃范圍內，滿足金剛線切割、多線切割等工藝對冷卻穩定性的嚴苛要求。支持多線切割機、金剛石線鋸等設備的并行冷卻。

應用場景

1. 單晶硅 / 多晶硅切割

   核心需求：控制切割液溫度，降低金剛石線摩擦熱，提升切割效率與硅片平整度。

   設備價值：

• 切割質量提升：某企業采用設備后，硅片表面粗糙度 Ra 從 0.8μm 降至 0.5μm，A 級品率提升 20%。

• 成本降低：刀具壽命從 8 小時延長至 12 小時，年節省刀具更換成本 150 萬元。

2. 碳化硅晶圓切割

   核心需求：應對碳化硅高硬度特性，提供穩定低溫環境，減少崩邊與微裂紋。

   設備價值：

• 材料利用率提高：某實驗室數據顯示，碳化硅晶圓切割損耗率從 8% 降至 3%，年節約材料成本 200 萬元。

• 加工效率優化：切割速度從 5mm/min 提升至 8mm/min，產能提升 60%。

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