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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測(cè)量/計(jì)量?jī)x器>其它測(cè)量/計(jì)量?jī)x器>真空計(jì)>LR180 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 成膜裝置用 干式真空泵

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LR180 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 成膜裝置用 干式真空泵

參考價(jià) ￥ 8711
訂貨量 ≥1件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市京都玉崎電子有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
  • 型號(hào) LR180
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2025/6/6 14:08:07
  • 訪問(wèn)次數(shù) 306

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深圳市京都玉崎電子有限公司成立于2023年，是一家專門銷售TANDD天特、AND京都玉崎、SHINKO新光、OHAUS奧豪斯等產(chǎn)品的公司，

公司擁有一批專業(yè)的銷售技術(shù)人員，可為您提供售前售后服務(wù)，解決您在選型中所遇到的問(wèn)題。



深圳市京都玉崎電子有限公司將致力于與客戶建立長(zhǎng)久的合作關(guān)系，創(chuàng)新發(fā)展,精誠(chéng)合作，攜手共進(jìn)。

我們堅(jiān)信：開拓、創(chuàng)新、求實(shí)、奉獻(xiàn),企業(yè)的成功來(lái)源于高品質(zhì)的產(chǎn)品和客戶的信賴。我公司以為顧客提供優(yōu)質(zhì)、

快捷的服務(wù)為己任，奉行顧客至上、誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)的宗旨，致力于成為您的穩(wěn)定、可靠、誠(chéng)信的專業(yè)供應(yīng)商。




公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)營(yíng)：溫濕度計(jì)、電子分析天平、精密電子天平、便攜式桌面秤、密度天平、移液校準(zhǔn)天平、水份測(cè)定儀、粘度計(jì)、振動(dòng)式流變儀  、

防水防塵臺(tái)秤、防水防塵桌面秤、稱重傳感器、稱重控制顯示器、可編程測(cè)量控制器、超聲波測(cè)厚儀等。我們提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，

以快速響應(yīng)國(guó)際上對(duì)創(chuàng)新和高精度測(cè)量工具的需求，與此同時(shí)建立了良好的市場(chǎng)聲譽(yù)。我們的宗旨是實(shí)現(xiàn)最高的客戶滿意度。







光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 1千-2千
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 成膜裝置用 干式真空泵

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 成膜裝置用 干式真空泵


通過(guò)低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

特點(diǎn)

  • 低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
    在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

  • 氦氣密封
    通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

  • 瞬停對(duì)策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • 成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

  • 縮短備料下料室的排氣時(shí)間

  • 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

型號(hào)LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排氣速度		50Hz62 m3/h
(1030 L/min)		112 m3/h
(1860 L/min)		183 m3/h
(3100 L/min)		440 m3/h
(7333 L/min)		440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)		126 m3/h
(2100 L/min)		237 m3/h
(3950 L/min)
到達(dá)壓力5.0 Pa
最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排氣口KF40VG50
質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)6.9 A
(at 200V)		11.2 A
(at 200V)		18.9 A
(at 200V)		20.8 A
(at 200V)
最大值7.3 A
(at 200V)		11.8 A
(at 200V)		20.6 A
(at 200V)		48.5 A
(at 200V)
冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
二次壓力0.05~0.1 MPa
氮?dú)獯祾?/td>軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒(méi)有0~45 SLM

*1 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)確認(rèn)。



型號(hào)LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)		LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
機(jī)械
增壓泵		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)		PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排氣
速度		50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)		653 m3/h
(10,900
L/min)		1,012 m3/h
(16,900
L/min)		1,701 m3/h
(28,350
L/min)		3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)		701 m3/h
(11,700
L/min)		1,051 m3/h
(17,500
L/min)		1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到達(dá)壓力0.67 Pa
最大排氣壓力
（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
(KF80)		VG100
(KF100)		VG150
(KF100)		VG150
排氣口KF40KF50
MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×		×TR:×
TTR:〇
質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
電源
*2		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)7.0 A
(at 200V)		12.3 A
(at 200V)		13.7 A
(at 200V)		21.4 A
(at 200V)		31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值9.6 A
(at 200V)		19.0 A
(at 200V)		24.2 A
(at 200V)		39.8 A
(at 200V)		58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水
一次壓力		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水
出入口壓差		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次
壓力		0.1~0.5 MPa
二次
壓力		0.05~0.1 MPa
N2
吹掃		軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒(méi)有 *30~45 SLM沒(méi)有 *30~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
*2 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)確認(rèn)。
*3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。



配飾

■消音器 (選項(xiàng))

型號(hào)材質(zhì)表面處理重量
(kg)		法蘭
接口		LR
300		LR
600		LR
1200		LR
1800		L&
3601		LR
60		LR
90		LR
180		LR
421		LR
421-T
RS-01 +
kitA		SUS
304		GBB處理4.1
kg		KF40〇----〇〇---
RS-01 +
kitB		KF40-〇〇-------
RS-02 +
kitA		8.3
kg		KF40〇------〇--
RS-02 +
kitB		KF40-〇〇〇------
RS-03 +
kitA		磨板12.5
kg		KF50--------〇〇
RS-03 +
kitB		----〇-----






















ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時(shí)，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司，他們希望“通過(guò)真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)”。

自成立以來(lái)，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備，ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán)，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi)，零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過(guò)與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來(lái)

ULVAC還希望通過(guò)與客戶的溝通來(lái)支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大，但其冒險(xiǎn)精神始終沒(méi)有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部

愛(ài)發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社

愛(ài)發(fā)科低溫有限公司

愛(ài)發(fā)科（寧波）有限公司

韓國(guó)愛(ài)發(fā)科低溫公司

愛(ài)發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司

愛(ài)發(fā)科銷售有限公司

愛(ài)發(fā)科科技有限公司
















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