| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 多級 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發科 螺桿型干泵 真空排氣
日本ULVAC愛發科 螺桿型干泵 真空排氣
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
規格
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適用規格 | CE、cTUVus | |||
| 標準附屬品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer | |||
| 本體選配件 | Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM | |||
| 外部選配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve | |||
*1：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業和科學的發展做出貢獻”。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創業精神，并與廣泛行業的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業設備，ULVAC接受了利用技術進行創新并努力創造新價值的挑戰。
追求真空技術創造新價值
ULVAC集團是一家企業集團，為廣泛的行業全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業務部門是一組負責開發、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業務領域和不斷發展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續利用集團的集體力量和創新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業和科學的發展做出貢獻。
零部件事業部
ULVAC株式會社 零部件事業部
愛發科機工株式會社
愛發科低溫有限公司
愛發科（寧波）有限公司
韓國愛發科低溫公司
愛發科低溫技術（寧波）有限公司
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