在光伏產業向高效化、智能化轉型的關鍵期，INFICON 作為全球真空測量與薄膜控制領域的技術**者，正以多元化產品矩陣重塑太陽能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產突破到真空環境精密控制，從薄膜沉積技術到全流程協同優化，我們將通過系列文章，逐層拆解 INFICON 不同產品與技術在太陽能制造中的深度應用。

系列第二篇：

繼首篇解析英福康全閉環薄膜控制技術如何破解鈣鈦礦電池量產難題后，本期我們將聚焦太陽能制造另一核心技術 —— 真空環境的精密控制。

英福康全系列真空計產品，可為太陽能制造全流程提供精準真空監測，成為隱形的 "真空指揮官"。

單晶硅制備中的真空精度控制

CZ 直拉法，是單晶硅制備的主流技術，也是精密制造工藝的**，其真空度需嚴格控制在 10??-10?2 mbar 區間，以確保單晶硅的品質。英福康真空計這一工序的不同階段發揮關鍵作用：

抽空階段：皮拉尼及復合系列，實時監測真空系統從大氣壓降至 10?? mbar 的關鍵過程，快速識別任何細微的壓力波動或泄漏隱患；

熔融和拉晶階段：CDG 系列真空計以超高穩定性，確保硅原子沿籽晶完好生長，杜絕晶體缺陷的產生。

PERC 與 TOPCon 電池的真空監測應用

PERC 和 TOPCon 電池作為現階段主流電池之一，其制造也離不開真空監測。

1. 正面硼擴散

PERC/TOPCon 電池生產的第一步——正面硼擴散，通過高溫與硼源氣體的協同作用，在硅片表面形成導電層。

1.1 壓力需嚴格控制在 100–400 mbar，波動會導致硼原子分布不均，影響電池導電性。

1.2 CDG 真空計，以超高靈敏度實時監測氣壓變化，保障導電層均勻性。

2. TOPCon 電池膜層制備

TOPCon 電池的膜層制備，同樣是一場 “真空精度與工藝創新” 的協同戰役：

3. 退火與沉積

非晶硅層需經 900℃ 退火 重塑原子結構，真空環境需確保兩大關鍵：

3.1 防污染：在 400-1000 mbar 區間，真空不足會導致氧/氮原子混入，引發多晶硅晶界缺陷增多、電子傳輸阻力上升。

3.2控壓力：壓力波動＞5%（如 600→630 mbar）將造成晶粒大小不均，導致載流子壽命驟降。

此時，INFICON 真空計（如 CDG 系列）化身 "高溫哨兵"：以 ±0.25% FS 精度 實時監控 400-1000 mbar 壓力，一旦壓力異常， 觸發警報，聯動設備調整抽氣速率，將風險扼殺在萌芽。

HJT 電池：全流程薄膜沉積的真空精密控制

作為光伏賽道的“性能擔當”，HJT 電池在收獲市場青睞的同時，其薄膜沉積工藝也面臨真空度控制的嚴苛挑戰。

1.非晶硅鈍化層沉積時，0.8-5mbar 壓力區間直接影響薄膜質量。CDG 與 PSG 系列組成監測組合，實時監控 10?3 mbar 至大氣壓的真空區間，為整個沉積過程保駕護航。

2.TCO（如ITO）是光伏組件的核心功能層，其導電性與透光率直接取決于制備工藝的真空精度。PVD磁控濺射工藝采用分段式腔體設計，通過真空梯度平衡效率與膜質：

鈣鈦礦電池制造中的真空技術應用

作為新一代高效光伏技術，鈣鈦礦電池的多層膜結構制造離不開精準真空控制。以下解析其核心工藝與 INFICON 真空計的協同作用：

結語：

當太陽能制造邁入 "效率每提升 0.1% 都需全鏈條優化" 的時代，英福康真空計以 全量程覆蓋（10?? mbar至大氣壓） 和 耐腐蝕CDG設計 成為工藝核心紐帶，其智能控制樞紐角色直接加速高效電池技術產業化。