| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1千-2千 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發科 干式真空泵 蝕刻裝置用
日本ULVAC愛發科 干式真空泵 蝕刻裝置用
特點
高溫區域均熱化
實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。通信功能
可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規格
| 型號 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 機械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到達壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 *1 | |||||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | |||||||||||
| 質量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 電流值 | 穩定時 | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
| 氣鎮 | SLM | 0~45 | ||||||||||
*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續運轉。
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業和科學的發展做出貢獻”。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創業精神，并與廣泛行業的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業設備，ULVAC接受了利用技術進行創新并努力創造新價值的挑戰。
追求真空技術創造新價值
ULVAC集團是一家企業集團，為廣泛的行業全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業務部門是一組負責開發、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業務領域和不斷發展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續利用集團的集體力量和創新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業和科學的發展做出貢獻。
零部件事業部
ULVAC株式會社 零部件事業部
愛發科機工株式會社
愛發科低溫有限公司
愛發科（寧波）有限公司
韓國愛發科低溫公司
愛發科低溫技術（寧波）有限公司
愛發科銷售有限公司
愛發科科技有限公司
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