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UR421-T 日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵

參考價(jià) 8552
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市京都玉崎電子有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
  • 型號(hào) UR421-T
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2025/6/6 13:45:11
  • 訪問次數(shù) 289

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深圳市京都玉崎電子有限公司成立于2023年,是一家專門銷售TANDD天特、AND京都玉崎、SHINKO新光、OHAUS奧豪斯等產(chǎn)品的公司,

公司擁有一批專業(yè)的銷售技術(shù)人員,可為您提供售前售后服務(wù),解決您在選型中所遇到的問題。



深圳市京都玉崎電子有限公司將致力于與客戶建立長(zhǎng)久的合作關(guān)系,創(chuàng)新發(fā)展,精誠(chéng)合作,攜手共進(jìn)。

我們堅(jiān)信:開拓、創(chuàng)新、求實(shí)、奉獻(xiàn),企業(yè)的成功來源于高品質(zhì)的產(chǎn)品和客戶的信賴。我公司以為顧客提供優(yōu)質(zhì)、

快捷的服務(wù)為己任,奉行顧客至上、誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)的宗旨,致力于成為您的穩(wěn)定、可靠、誠(chéng)信的專業(yè)供應(yīng)商。




公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)營(yíng):溫濕度計(jì)、電子分析天平、精密電子天平、便攜式桌面秤、密度天平、移液校準(zhǔn)天平、水份測(cè)定儀、粘度計(jì)、振動(dòng)式流變儀  、

防水防塵臺(tái)秤、防水防塵桌面秤、稱重傳感器、稱重控制顯示器、可編程測(cè)量控制器、超聲波測(cè)厚儀等。我們提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),

以快速響應(yīng)國(guó)際上對(duì)創(chuàng)新和高精度測(cè)量工具的需求,與此同時(shí)建立了良好的市場(chǎng)聲譽(yù)。我們的宗旨是實(shí)現(xiàn)最高的客戶滿意度。







光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 1千-2千
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵

日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵



通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

  • 瞬停對(duì)策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度
50Hz410 m3/h
(6833 L/min)
653 m3/h
(10883 L/min)
1012 m3/h
(16867 L/min)
1701 m3/h
(28350 L/min)
2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1:請(qǐng)勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進(jìn)行連續(xù)運(yùn)
* 沒有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請(qǐng)另行確認(rèn)




■運(yùn)轉(zhuǎn)方式

干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式123
N流量SLM055~50*1








ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時(shí),它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)”。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán),為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大,但其冒險(xiǎn)精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國(guó)愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司





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