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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>RTP-3S01 RTP-3系列快速退火爐

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RTP-3S01 RTP-3系列快速退火爐

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3S01
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/7/2 13:10:41
  • 訪問次數 1082

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半導體化工領域專業(yè)實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優(yōu)質專業(yè)的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

快速退火爐(RTP,Rapid Thermal Processing)系列產品,采用紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現對實驗材料的快速升溫和降溫,同時搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng),可達到很好的溫場均勻性,對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。

RTP-3系列快速退火爐主要分為RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分別能處理 1-12 寸樣本。

應用功能
快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)
-離子注入/接觸退火
-SiAu、SiAL、SiMo合金化
-太陽能電池片鍵合
-電阻燒結
-低介電材料熱處理
-晶體化、致密化
-材料制備
提供可控壓力環(huán)境并實現以上應用提供Vac、lG、02、Gas mixture等氣氛環(huán)境

    RTP-3系列快速退火爐采用紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現實驗樣品的快速升溫和降溫,完成特定條件下的熱處理工藝。
支持多種配置選擇,如可選擇 SECS/GEM、1-4路氣氛、自動開關門、燈光分區(qū)控制、PID 自動配置等:可實現爐壁溫度監(jiān)視、水冷異常監(jiān)視、真空度監(jiān)視、腔體壓力監(jiān)視等:
豐富的附件選擇:碳化硅石墨托盤、石英樣品托架、紅外加熱燈管、石英腔體 /板、TC-Wafer 校準儀等

 

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