TC-20 TC-Wafer校準儀
| 應用領域 | 綜合 |
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TC-Wafer校準儀，是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器。
適配市場上大多數主流廠家生產的RTP設備。
特殊情況可定制以適配。
產品特點（部分）
1.測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內、采集周期為200ms，能準確測量晶圓溫廠均勻性；
2.使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數 據，并能自動生成測試報告，
支持U盤、藍牙、無線網 絡等多種方式導出數據和報告；
3.顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點位圖及溫度分布圖，
可在使用過程中實時觀察各點溫度變化；
4.功能強大 10000條歷史數據存儲量，能以圖表形式調閱歷史溫度和均勻性數據。
可做同一臺設備不同時間段、以及不同設備同一配方的數據對比；
5.便攜易維護 便攜一體化設計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更換TC- wafer。
TC-Wafer校準儀應用功能：
1.半導體制造工藝調校
2.RTP設備的測試、驗證
3.TC-Wafer的測試、驗證
4.相 關 晶 圓 熱 處 理 設 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
5.使用范圍：室溫~ 1200℃(更高溫可定制)
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