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化工儀器網>產品展廳>配件耗材>電源設備>其它電源設備>AE RFG 5500 AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015

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AE RFG 5500 AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015

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      神州科技是中國地區半導體產線電源系統服務廠商,位于江蘇省揚州市維揚開發區,現有員工300人,工程師230人,模擬測試線20條,已建成完整全面的高精度,高功率:直流、射頻、微波、網絡匹配器、遠程等離子發生器 等綜合測試平臺,是國家火炬計劃項目《等離子電源研發,應用平臺建設》承接單位。公司業務遍及亞洲,于日本、新加坡、韓國分設辦事處。

      神州科技為芯片產線,光伏產線,液晶面板制造產線,工業玻璃鍍膜產線,LED新光源產線,以及醫療、科研真空,各類高科技產業等離子系統提供電源系統的維修,備件支持,設備租憑服務。神州團隊嚴謹創新,高效熱誠,服務世界半導體產業。








電源維修,二手電源設備銷售,直流電源,射頻電源,脈沖電源,自動網絡匹配器,遠程等離子發生器,分子泵離子泵,干泵冷泵

供貨周期 現貨 貨號 3155051-015
應用領域 電子/電池,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
品牌 AE 型號 RFG?5500
MN 3155051-015 PN 27-115617-00
輸出功率 5000W 頻率 13.56MHz
狀態 Refurbished

AE 射頻電源 RFG 5500  MN3155051-015, 5000W 13.56MHz, ASIS, available, in good condition, can ship. PN:27-115617-00; MN:3155051-015。

AE 射頻電源 RFG 5500  MN3155051-015是經過長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源,能夠實現對射頻輸出的精準控制,在半導體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優良表現。AE RFG 系列射頻電源具有優秀的工藝穩定性和射頻控制能力,能夠實現對射頻輸出的精準控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力,成膜速度快,效率高,在半導體制程薄膜工藝中具有廣泛應用,能夠在一定程度上的提高產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設計,小巧便捷,能夠降低客戶的使用成本。


RFG 5500參數規格

設備品牌:AE (Advanced Energy)

設備型號:RFG 5500

AC 電源輸入:~208V,3 phase~,50/60Hz,10.0kW

RF 射頻輸出:13.56MHz,5000W

設備散熱:水冷散熱





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