AE RFG 1251 AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號(hào) AE RFG 1251
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/11/23 9:26:30
- 訪問次數(shù) 817
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號(hào) | 3155107-005 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，成膜速度快，被廣泛應(yīng)用在CVD、PVD、PECVD等半導(dǎo)體制程薄膜工藝中。該型號(hào)射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，能夠減少損耗提高能源效益，一定程度上可以提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。設(shè)備整體采用緊湊型的設(shè)計(jì)風(fēng)格，小巧緊湊，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。
AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator 參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）
設(shè)備型號(hào)：RFG 1251
AC 電源輸入：3 phase~/PE，~208V，50/60Hz，2.4kW
RF 射頻輸出：13.56MHz，250V~，1250W
通信接口：Control，CEX In/Out
設(shè)備散熱：水冷散熱
水冷進(jìn)水要求：MAX進(jìn)水水壓 5.17Bar/517kPa
采購中心
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