AE RFG 2000-2V AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號 AE RFG 2000-2V
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/11/23 9:51:56
- 訪問次數(shù) 1049
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 3155053-007 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | RFG?2000-2V |
| M/N | 3155053-007 | P/N | 0920-00102 |
| 頻率 | 12.56MHz | 輸出功率 | 3000W |
| 設(shè)備狀態(tài) | Refurblished |
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有高可靠性和優(yōu)良性能的射頻電源，在實際運行中展現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和控制能力。該款射頻電源主要采用了緊湊的外觀設(shè)計，整體小巧便捷，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。AE RFG系列射頻電源具有良好的成膜能力，能夠快速成膜，被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，CVD、PVD、PECVD、濺射、蝕刻均有應(yīng)用。RFG 2000-2V，加上它相關(guān)的固定匹配網(wǎng)絡(luò)(MFA)，是一種傳統(tǒng)的AE 13.56 MHz射頻發(fā)生器，具有定制的腔室安裝和緊密的機械包絡(luò)。
AE 射頻電源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）
設(shè)備型號：RFG 2000-2V
AC 電源輸入：3 phase~ ，208V~，50/60Hz，20A
RF 射頻輸出：3000W，13.56MHz
設(shè)備散熱：水冷散熱
水冷進(jìn)水需求：MAX進(jìn)水水壓6.9 Bars/69kPa
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