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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>qirui RTP-100快速退火爐

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qirui RTP-100快速退火爐

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RTP-100快速退火爐

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上海騏銳信息科技有限公司專注于行業領域,高低溫介電常數/高低溫下電性能測試系統/工業自動化/精密儀器/航空航天高性能材料測試系統、傳感器生產與技術服務。我們以技術創新為核心驅動力,致力于為客戶提供高效、智能、定制化的設備解決方案,助力全球客戶提升生產效率、優化產品質量并實現可持續發展。

核心技術優勢:

? 研發實力

擁有一支由資深工程師、行業專家及高校科研團隊組成的復合型研發團隊,累計獲得多項發明專利及實用新型專利

? 技術亮點

自主研發核心產品技術,如:高低溫下介電常數/材料電性能高低溫測試/模塊化設備架構/能耗優化系統等。

采用數字化仿真/工業大數據分析/虛擬調試等先進技術,縮短研發周期30%以上。

? 產學研合作

與高校/科研院所名稱建立合作,共同攻關行業關鍵技術難題。

 

產品與服務體系:

?? 核心產品線

1. 智能生產線集成:面向制造業的自動化裝配、檢測及自動化測試系統。

2. 專用設備定制:材料測試系統、半導體精密加工設備、新能源電池模組封裝設備等。

3. 智能運維平臺:設備遠程監控、預測性維護及數據分析服務。

?? 服務模式

- 全生命周期支持:從需求分析、方案設計到安裝調試、售后維保的一站式服務。

 

成功案例

研發的設備型號獲獎項/認證

服務覆蓋行業領域,如:汽車制造/生物醫藥/光伏新能源頭部企業

我公司與以下國內外廠商建立了長期合作關系:日本安立公司、美國泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美國福祿克Fluke 公司、北京普源精電 、Rigol公司、美國安捷侖Agilent公司、中國臺灣茂迪Motech公司、美國艾法斯 Aeroflex公司、 中國臺灣固緯Goodwill公司、美國吉時利Keithley公司、日本巖崎Iwatsu公司、美國國家儀器NI公司、日本愛德萬 Advantest公司、美國Magtrol公司、德國惠美Hameg公司、韓國Tescom公司、安徽41所、韓國金進 Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

電子儀器儀表 材料測試

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣

RTP-100快速退火爐

技術規格:
- 溫度:1200攝氏度;
- 升溫速率:150攝氏度/秒;
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
- 溫控均勻性:≤ 1.5%設定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱;
- 燈管數量及功率:18支/20千瓦;
- 腔體冷卻:水冷方式;
- 襯底冷卻:氮氣吹掃;
- 工藝氣路:MFC控制,多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);
- 主機尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),約55Kg;
 RTP-100快速退火爐
儀器特點:
- 真空快速退火爐,有低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa);
- 可在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC, SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏;
- 可存儲50個程序,每個程序多分為50段控制;
- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置;
- 優異的溫控均勻性,的工藝重現性;
- 臺式設計;
 
應用領域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合;
等等...

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氧化擴散設備


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