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MDPinline 晶圓片在線面掃檢測儀

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束蘊儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數據中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰略合作,迅速成為業界儀器供應商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團隊,我們熱忱的信仰科學,相信科學技術能為我們的客戶帶來質量較高的生活,為社會的進步起到積極的促進作用。

束蘊儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業檢測儀器及過程控制設備,專業的應用支持及完善的售后服務,在中國大陸的諸多領域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機關、檢驗機構及工業企業,產品覆蓋了醫藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術支持和現場服務,系統高效的客戶培訓,快速及時的售后服務。

束蘊儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權代理商

--PDF衍射數據庫、JADE軟件--國際衍射數據中心(ICDD)授權代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權代理商



單位名稱:束蘊儀器(上海)有限公司

詳細地址:上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室









MicroCT,顯微CT,微焦點CT,骨骼成像,顯微CT材料學檢測,微納顯微CT,X射線斷層掃描,TOC,元素檢測

應用領域 醫療衛生,環保,食品/農產品,化工

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。

優勢介紹:一秒一片!可集成在生產線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試,在不到一秒內就能形成單個硅片的二維圖像。

    該儀器本身不使用機械運動部件,因此在連續操作下也非常可靠。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,這為提高生產線的成本效益和效率提供了新的途徑,而這些都是迄今為止*的。例如,在不到3個小時的時間內,對10000個晶圓片的拓撲結構進行自動統計評估,結果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質量的各種細節。 

        實時的質量檢測可以幫助提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產過程中,MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障,從而使產品達到的性能。 

  

 

優勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內,可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數:載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產。

◆適用于測量晶圓片的材料質量,以及識別晶圓片層面的結晶問題,例如在光伏行業。

◆適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術參數

 

樣品厚度

 

100 μm up to 1 mm

 

樣品尺寸

 

在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18”

 

電阻率

 

0.2 - 103 Ohm cm

 

傳導類型

 

p, n

 

材質

 

硅晶圓,部分或*加工的晶圓片,復合半導體等 

 

測量性能

 

少數載流子壽命(穩態或非平衡(μ-PCD)可選擇的)

 

測量位置

 

默認2.8 mm, 其它可選

 

檢測時間

 

獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒

 

尺寸

 

400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg

 

電源

 

24 V DC, 4 A

其它細節

· 允許單片控制

· 參數自動設置,預定義的排序菜單

· 多達15個質量等級的晶圓片自動分揀

· 監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

· 快速提升工藝和生產線

 

 



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