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MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀

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束蘊儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數據中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰略合作,迅速成為業界儀器供應商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團隊,我們熱忱的信仰科學,相信科學技術能為我們的客戶帶來質量較高的生活,為社會的進步起到積極的促進作用。

束蘊儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業檢測儀器及過程控制設備,專業的應用支持及完善的售后服務,在中國大陸的諸多領域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機關、檢驗機構及工業企業,產品覆蓋了醫藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術支持和現場服務,系統高效的客戶培訓,快速及時的售后服務。

束蘊儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權代理商

--PDF衍射數據庫、JADE軟件--國際衍射數據中心(ICDD)授權代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權代理商



單位名稱:束蘊儀器(上海)有限公司

詳細地址:上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室









MicroCT,顯微CT,微焦點CT,骨骼成像,顯微CT材料學檢測,微納顯微CT,X射線斷層掃描,TOC,元素檢測

應用領域 醫療衛生,環保,食品/農產品,化工

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

應用范圍:用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

 

 

根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割,爐內監控,材料優化等。


日常壽命測量,質量控制和檢驗
 
◆產量:>240塊/天或>720片/天
◆測量速度:對于156x156x400mm標準晶錠,<4分鐘
◆生產改善:1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
◆質量控制:用于過程和材料的質量監控,如單晶硅或多晶硅
◆污染測定:起源于爐和設備的金屬(Fe)
◆可靠性:模塊化和堅固耐用的工業儀器,更高的可靠性和運行時間> 99%
◆可重復性:> 99.5%
◆電阻率:不需要經常校準

精密材料研發

鐵濃度測定


陷阱濃度測定

硼氧測定

依賴于注入的測量等

特性


*無觸點無破壞的半導體特性
特殊的“表面之下”壽命測量技術
不可見缺陷的 靈敏度的可視化
自動切割標準定義
空間分辨p/n電導型變換檢測

 



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