SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計

SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計

真空計（Vacuum Gauge），又稱真空壓力計或真空規，是一種用于測量真空系統內氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內氣體分子的物理特性變化，通過傳感器將壓力信號轉換為電信號，*終以數字或模擬方式顯示真空度。真空計廣泛應用于科研、工業制造、半導體、航空航天等領域，是真空技術的關鍵測量設備。

它是一種使用皮拉尼球體覆蓋低真空范圍的皮拉尼真空計，測量范圍為 0.14Pa~2.6kPa。 由于采用固態電路，即使在電源波動 （90V~110V） 的情況下也能表現出極其穩定的運行，并提供可靠的測量值。

真空計的應用領域

真空計在多個行業的關鍵環節中發揮著重要作用：

1. 半導體與電子制造

用于晶圓加工、薄膜沉積、離子注入等工藝，確保高真空環境（10?? ~ 10?? Pa）的穩定性。

在真空封裝（如MEMS傳感器）中監測殘余氣體壓力。

2. 工業制造與材料處理

真空爐：在金屬熱處理、燒結過程中控制真空度，防止氧化。

真空鍍膜：監測PVD（物**相沉積）、CVD（化學氣相沉積）設備的真空環境。

3. 科研與實驗室

高能物理實驗（如粒子加速器）需要超高真空（<10?? Pa）環境。

空間模擬艙：模擬太空環境，測試航天器部件的真空適應性。

4. 醫療與生物技術

冷凍電鏡（Cryo-EM）需要高真空環境以保持樣本穩定性。

真空**設備中監測壓力，確保**效果。

1. 1. 真空計的核心組成
   傳感器：根據測量原理不同，可分為機械式、熱傳導式、電離式等。
   信號處理電路：放大和轉換傳感器信號，提高測量精度。
   顯示/輸出單元：數字顯示、模擬指針或數據接口（RS485、USB等）。
   校準系統（部分**型號）：確保長期測量準確性。
   2. 真空計的分類
   根據不同測量原理和適用壓力范圍，真空計主要分為以下幾類：
   類型 測量范圍（Pa） 工作原理 典型應用
   機械式真空計 10? ~ 10?1 利用彈性元件（如波登管、薄膜）變形測量壓力 粗真空測量（如真空包裝、空調系統）
   熱傳導真空計 103 ~ 10?3 基于氣體熱導率隨壓力變化的特性 中低真空（如真空爐、鍍膜設備）
   電離真空計 10?1 ~ 10?? 通過電離氣體分子測量離子電流 高真空（如電子顯微鏡、半導體制造）
   電容式真空計 10? ~ 10?? 利用電容變化測量薄膜位移 高精度真空控制（如科研實驗）
   復合真空計 10? ~ 10?? 結合多種傳感器，覆蓋寬量程 全范圍真空監測（如航天測試）

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