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SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì)
SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計(jì)
真空計(jì)(Vacuum Gauge),又稱真空壓力計(jì)或真空規(guī),是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內(nèi)氣體分子的物理特性變化,通過(guò)傳感器將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),*終以數(shù)字或模擬方式顯示真空度。真空計(jì)廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造、半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域,是真空技術(shù)的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。
以低成本以緊湊的形式提供必要和充分的功能... 這是一種新型的緊湊型數(shù)字皮拉尼真空計(jì),易于作。
1. 真空計(jì)的核心組成
傳感器:根據(jù)測(cè)量原理不同,可分為機(jī)械式、熱傳導(dǎo)式、電離式等。
信號(hào)處理電路:放大和轉(zhuǎn)換傳感器信號(hào),提高測(cè)量精度。
顯示/輸出單元:數(shù)字顯示、模擬指針或數(shù)據(jù)接口(RS485、USB等)。
校準(zhǔn)系統(tǒng)(部分**型號(hào)):確保長(zhǎng)期測(cè)量準(zhǔn)確性。
2. 真空計(jì)的分類
根據(jù)不同測(cè)量原理和適用壓力范圍,真空計(jì)主要分為以下幾類:
類型 測(cè)量范圍(Pa) 工作原理 典型應(yīng)用
機(jī)械式真空計(jì) 10? ~ 10?1 利用彈性元件(如波登管、薄膜)變形測(cè)量壓力 粗真空測(cè)量(如真空包裝、空調(diào)系統(tǒng))
熱傳導(dǎo)真空計(jì) 103 ~ 10?3 基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性 中低真空(如真空爐、鍍膜設(shè)備)
電離真空計(jì) 10?1 ~ 10?? 通過(guò)電離氣體分子測(cè)量離子電流 高真空(如電子顯微鏡、半導(dǎo)體制造)
電容式真空計(jì) 10? ~ 10?? 利用電容變化測(cè)量薄膜位移 高精度真空控制(如科研實(shí)驗(yàn))
復(fù)合真空計(jì) 10? ~ 10?? 結(jié)合多種傳感器,覆蓋寬量程 全范圍真空監(jiān)測(cè)(如航天測(cè)試)
測(cè)量范圍 | 6.0×103~1.4×10-1帕斯卡 | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
壓力單位 | 帕 | ||||||
測(cè)量方法 | 恒溫型 | ||||||
控制輸出 | 接點(diǎn)輸出 2 點(diǎn)獨(dú)立 繼電器接點(diǎn)輸出 AC100V 1A(阻性負(fù)載) | ||||||
記錄儀輸出 滿量程 0~5V | |||||||
電源電壓 | 交流 85~132V±10% 50Hz/60Hz 12VA | ||||||
尺寸 | 寬96×深120×高96 毫米 | ||||||
質(zhì)量 數(shù)量 | 1.0 千克 | ||||||
統(tǒng)治者 | 型號(hào) S-222 φ15 儀表端口安裝電纜 2m |
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