ULVAC愛發科 電容壓力計
ULVAC愛發科 電容壓力計
“型號：CCMT-D”是一種電容式壓力計，用于檢測由于氣體壓力變化而在陶瓷制成的隔膜中變化的電容壓力。
由于傳感器部分具有一體式陶瓷結構，因此具有出色的再現性和穩定性，并且無論氣體類型如何（絕對壓力真空計），都可以高精度地測量中低真空區域的壓力。
長處
長期穩定的可制造性
由于使用了陶瓷膜，因此具有出色的耐腐蝕性
內置溫度補償電路型
保護傳感器免受污垢影響的新結構
可通過按鈕進行 0 點調整。
用
用于監測沉積設備過程中的壓力
用于真空排氣系統（如真空熔煉爐和真空熱處理爐）的壓力監測
用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監測
規范
| 型 | CCMT-D 系列 | ||
| 滿量程測量 | CCMT-1000D 系列 | 133kPa 滿量程 | |
| CCMT-100D 系列 | 13.3kPa 滿量程 | ||
| CCMT-10D 系列 | 1.33kPa 滿量程 | ||
| CCMT-1D 系列 | 133Pa F.S. | ||
| 分辨率 | 整箱為 0.003% | ||
| 精度 *1 | 溫度系數±讀數的 0.2% ± | ||
| 溫度系數 | 零電壓 | 0.015% 滿量程 / °C | |
| 跨度電壓 | 0.01% 相對濕度 / °C | ||
| 工作溫度范圍 | 10~50°C | ||
| 響應速度 | 30 毫秒或更短 | ||
| 氣體接觸材料 | Al2O3， Vacon70*2， SUS316*3， 玻璃焊料， AgTiCu 硬焊料 | ||
| 輸入功率 | DC14~30V，1W | ||
| 輸出 | 直流 0~10VF.S | ||
| 質量 | 329g（直徑 12.7，標準型） | ||
| 外形尺寸 | 直徑 55 mm × 117 mm（直徑 12.7 mm，標準型） | ||
| 擬 合 | 標準：直徑 12.7 管道 選項：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 溫度補償 | 內置溫度補償電路 | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針公頭 | ||
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