FISCHERSCOPE X-RAY XDL210菲希爾X射線測厚儀核心技術與性能

測量原理：運用 X 射線熒光光譜法，實現對鍍層厚度的精準測量，采用無損檢測方式，具備自動聚焦功能，可保障樣品完整性與測量準確性。

元素測量范圍：涵蓋 Cl（17）-U（92），最多可同時測量 24 種元素、23 層鍍層。

硬件性能：

 X/Y 平臺：移動范圍≥95x150mm，可用工作臺面≥420x450mm，能滿足多樣品放置與測量需求。

電動 Z 軸：支持手動 / 自動聚焦，移動范圍≥140mm，可適配不同高度樣品。

DCM 技術：采用測量距離補償法（DCM），可實現 80mm 深度的腔體樣品遠距離對焦測量。

高壓調節：可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調節，可靈活應對不同測試場景。

準直器：配備 φ0.3 的圓形準直器，可提升測量精度，還有 φ0.1mm、φ0.2mm 及長方形 0.3mmx0.05mm 等可選準直器。

X 射線探測器：采用比例接收器，確保信號穩定接收。

攝像頭：高分辨率 CCD 攝像頭，放大倍數 40 - 160 倍，便于樣品觀察定位，沿初級 X 射線光束方向觀察測量位置，有手動聚焦、十字線（帶有經過校準的刻度和測量點尺寸）、可調節亮度的 LED 照明，激光光點用于準確定位樣品。

軟件與數據處理

操作系統與軟件：基于 Windows 7 以上中文操作界面，搭載 WinFTM 專業測試軟件，配備連接 PC 和打印機的 USB 接口。

統計計算功能：數據組集成時間和日期功能，具備平均值、標準偏差、最大值、最小值等統計計算；支持公差范圍輸入，可計算 CP 和 Cpk 值，超范圍自動報警提示。

校準與判定：采用基本參數法，內置 12 純元素頻譜庫，實現無標準片校準測量；具備 MQ 值顯示，用于判斷測量程式與樣品匹配度，防止誤操作。

標準片：配備 12 種基準純元素（Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr）標準片。