ULVAC愛發科 旋片式干式真空泵

什么是旋片式干式真空泵？

當轉子旋轉時，葉片通過離心力向外滑動，與氣缸接觸并旋轉。被氣缸、轉子和葉片包圍的空間，隨著轉子的旋轉，從吸氣口吸引的氣體被壓縮，從排氣口排出。

旋片式干式真空泵的特點

由于這是無油泵，因此空氣從氣缸和轉子之間的間隙回流是不可避免的。多葉片結構設計，盡可能防止回流。由于其結構簡單，且能在低真空范圍內達到較高的抽速，因此被廣泛用作抽吸和輸送機械的真空源。

【優點】在低真空范圍內實現高排氣速度。

【缺點】葉片會產生磨損碎屑。它噪音很大并且會產生大量熱量。

旋片式干式真空泵的工作原理

　當轉子旋轉時，離心力使葉片向外滑動并與氣缸接觸旋轉。

當轉子旋轉時，通過進氣口吸入的氣體在氣缸、轉子和葉片所包圍的空間中被壓縮，然后從排氣口排出。

旋片式干式真空泵的主要用途

　電子電氣行業、食品機械行業、包裝機械行業、印刷設備行業、牙科行業、產業機械行業、半導體行業的真空源（吸附/抽吸）、包裝機、濾油機、

應用領域  

?半導體制造：用于真空鍍膜、真空熱處理等工藝過程。用于晶圓制造、芯片封裝和測試等環節。

?食品加工：用于食品包裝和儲存過程中的真空處理。?

?制藥行業：用于藥品的混合、干燥和包裝等環節。?

實驗室：科學研究和實驗，如物理、化學、材料科學等領域的實驗。

真空冶金：用于在真空中進行金屬和合金的冶煉、提純和精煉等。

化工行業：用于真空蒸餾、真空干燥等工藝過程。

光伏產業?：在光伏電池的生產中，旋片式干式真空泵用于電池片的清洗、蝕刻和沉積等工藝。

?顯示技術?：在液晶顯示（LCD）和有機發光二極管（OLED）顯示器的制造過程中，旋片式干式真空泵用于基板清洗、真空沉積和封裝等工序。

?電子元器件封裝?：在電子元器件的封裝過程中，旋片式干式真空泵用于去除封裝過程中的氣體。