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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>泵閥類>真空泵>LR3601-TR (TTR) 池田屋嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科多級羅茨真空泵

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LR3601-TR (TTR) 池田屋嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科多級羅茨真空泵

參考價(jià) 7145
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。


公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關(guān)系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。池田屋主要經(jīng)營日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。


公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、資深的管理團(tuán)隊(duì),通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù),服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。


“捕捉變化,開拓未來”
~通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會(huì)做貢獻(xiàn)~

我們以“教育科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域”和“研究科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域”為支柱,在本公司,全體員工以“了解變化,開拓未來”的挑戰(zhàn)精神和“用人、育人”的企業(yè)文化為基礎(chǔ),以池田屋有的方式響應(yīng)客戶的需求。








池田屋主要經(jīng)營日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

泵軸位置 邊立式 輸送介質(zhì) 油泵
葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合

池田屋嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科多級羅茨真空泵 LR3601-TR(TTR)

池田屋嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科多級羅茨真空泵 LR3601-TR(TTR)



通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

    特點(diǎn)

    • 低溫區(qū)域均熱化(Model:LR)
      在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

    • 氦氣密封
      通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

    • 瞬停對策
      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

    • 出色的耐腐蝕性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。

    • 通信功能
      可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

    用途

    • 成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)

    • 縮短備料下料室的排氣時(shí)間

    • 作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣)

    規(guī)格

    型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
    最大
    排氣速度
    50Hz62 m3/h
    (1030 L/min)
    112 m3/h
    (1860 L/min)
    183 m3/h
    (3100 L/min)
    440 m3/h
    (7333 L/min)
    440 m3/h
    (7333 L/min)
    60Hz80 m3/h
    (1333 L/min)
    126 m3/h
    (2100 L/min)
    237 m3/h
    (3950 L/min)
    到達(dá)壓力5.0 Pa
    最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
    最大排氣口壓力
    (排出圧力)
    1~ 大氣壓 Pa
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
    排氣口KF40VG50
    質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
    電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
    380~440 VAC(50/60 Hz)
    電流值穩(wěn)定時(shí)6.9 A
    (at 200V)
    11.2 A
    (at 200V)
    18.9 A
    (at 200V)
    20.8 A
    (at 200V)
    最大值7.3 A
    (at 200V)
    11.8 A
    (at 200V)
    20.6 A
    (at 200V)
    48.5 A
    (at 200V)
    冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
    冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
    二次壓力0.05~0.1 MPa
    氮?dú)獯祾?/td>5 SLM
    氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

    *1 請訂購時(shí)指定。



    型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
    (TT)
    LR3601-RLR3601-TR
    (TTR)
    使用泵干式
    真空泵
    LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
    機(jī)械
    增壓泵
    PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
    (-T)
    PRC-036DPRC-036D
    (D-T)
    最大
    排氣
    速度
    50Hz359 m3/h
    (5,980
    L/min)
    653 m3/h
    (10,900
    L/min)
    1,012 m3/h
    (16,900
    L/min)
    1,701 m3/h
    (28,350
    L/min)
    3,200 m3/h(53,333 L/min)
    60Hz365 m3/h
    (6,080
    L/min)
    701 m3/h
    (11,700
    L/min)
    1,051 m3/h
    (17,500
    L/min)
    1,784 m3/h
    (29,700
    L/min)
    到達(dá)壓力0.67 Pa
    最大排氣壓力
    (吸入圧力)
    大氣壓
    最大排氣口壓力
    (排出圧力)
    1~ 大氣壓 Pa
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
    (KF80)
    VG100
    (KF100)
    VG150
    (KF100)
    VG150
    排氣口KF40KF50
    MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
    TT:×
    ×TR:×
    TTR:〇
    質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
    電源
    *2
    三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
    電流值穩(wěn)定時(shí)7.0 A
    (at 200V)
    12.3 A
    (at 200V)
    13.7 A
    (at 200V)
    21.4 A
    (at 200V)
    31.0 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)
    35.4 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)
    最大值9.6 A
    (at 200V)
    19.0 A
    (at 200V)
    24.2 A
    (at 200V)
    39.8 A
    (at 200V)
    58.4 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)
    82.0 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)
    冷卻水
    一次壓力
    0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水
    出入口壓差
    >0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹掃氣一次
    壓力
    0.1~0.5 MPa
    二次
    壓力
    0.05~0.1 MPa
    N2
    吹掃
    5 SLM
    氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

    *1 LR300

    、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
    *2 請訂購時(shí)指定。
    *3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。


    池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

    公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關(guān)系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。

    池田屋主要經(jīng)營日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

    公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、的管理團(tuán)隊(duì),通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù),

    服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。









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