光刻膠是一種在半導體制造和微細加工領域中至關重要的材料。它主要由光引發劑、樹脂、溶劑等基礎組分組成,并根據其響應紫外光的特性,可以分為正膠和負膠兩種類型。正膠在曝光前對顯影液不可溶,而曝光后變得可溶,能夠產生高分辨率和良好對比度的圖案。相比之下,負膠在曝光前可溶,曝光后不可溶,具有較好的粘附能力和抗刻蝕能力,但其分辨率相對較低。
光刻膠的種類繁多,每種光刻膠都有其特定的應用領域和特點。托托科技提供了一系列適用于不同行業的高性能光刻膠產品,這些產品在半導體制造中扮演著至關重要的角色,主要用于精確地將電路圖案轉移到硅片上。
高分辨率光刻膠/S1800系列光刻膠,這些正性光刻膠具有0.4-2.7um的膠厚范圍,極限線寬可達0.5um,適用于小線寬雙層膠lift-off工藝。SPR955系列光刻膠,這些正性光刻膠的膠厚范圍為0.7-3.5um,極限線寬可達0.35um,粘附性好。ROL-7133光刻膠,國產負膠,適用于g/h/i-line光源,膠厚范圍為2.2-4um,適用于lift-off工藝制造金屬電極或導線。SUN-lift 1303光刻膠,國產負膠,同樣適用于g/h/i-line光源,膠厚范圍為2.2-4um,適用于lift-off工藝。PMMA 光刻膠,正性電子束光刻膠,高分辨率,適用于電子束光刻、二維材料轉移、多層T-gate等工藝。AZ系列光刻膠:AZ 5214E光刻膠:正性薄膠,膠厚范圍為1-1.6um,適用于雙層膠lift-off工藝;AZ 4620光刻膠:正性厚膠,膠厚范圍為3-60um,適用于干法/濕法刻蝕、電鍍等工藝;AZ MIR 701/703光刻膠:高分辨率正膠,膠厚范圍為0.7-1.4um,極限線寬0.5um;AZ nLOF 2000系列光刻膠:包括AZ nLOF 2020、AZ nLOF 2035、AZ nLOF 2070等型號,耐高溫Lift-off光刻膠。SU-8光刻膠,高深寬比負膠,膠厚范圍為0.5-650um,適用于絕緣層、微流控等工藝。SPR220系列光刻膠,常用正膠,膠厚范圍為1-10um,適用于干法/濕法刻蝕、電鍍等工藝。AZ 1500系列光刻膠,高分辨率正膠,膠厚范圍為0.7-1.4.3um,極限線寬0.5um。底層膠、圖形反轉膠、電子束光刻膠、LOR光刻膠、PMGI SF光刻膠、Lift-off工藝光刻膠等,適用于不同的工藝需求,包括正性光刻膠、負性光刻膠、厚光刻膠、薄光刻膠、紫外光刻膠。
托托科技的光刻膠產品線非常豐富,能夠滿足不同半導體制造工藝的需求,從精細圖案的制造到高深寬比的應用,都有相應的產品可以選擇。
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