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表面粗糙度用雙管顯微鏡測量。可用作Ry與Rz參數評定，測量范圍0.5~50。
也可以利用光波干涉原理(見平晶、激光測長技術)將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高（可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。
應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為0.025～0.8微米的表面粗糙度。
另外，比較法測量簡便，使用于車間現場測量，常用于中等或較粗糙表面的測量。方法是將被測量表面與標有一定數值的粗糙度樣板比較來確定被測表面粗糙度數值的方法。
比較時可以采用的方法:Ra>1.6μm時用目測，Ra1.6~Ra0.4μm時用放大鏡，Ra<0.4μm
時用比較顯微鏡。
擴展資料
表面粗糙度對零件使用情況有很大影響。一般說來，表面粗糙度數值小，會提高配合質量，減少磨損，延長零件使用壽命，但零件的加工費用會增加。
因此，要正確、合理地選用表面粗糙度數值。在設計零件時，表面粗糙度數值的選擇，是根據零件在機器中的作用決定的。
總的原則是在保證滿足技術要求的前提下，選用較大的表面粗糙度數值。具體選擇時，可以參考下述原則：
?。?）工作表面比非工作表面的粗糙度數值小。
?。?）摩擦表面比不摩擦表面的粗糙度數值小。摩擦表面的摩擦速度越高，所受的單位壓力越大，則應越高；滾動磨擦表面比滑動磨擦表面要求粗糙度數值小。
?。?）對間隙配合，配合間隙越小，粗糙度數值應越??；對過盈配合，為保證連接強度的牢固可靠，載荷越大，要求粗糙度數值越小。
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