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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>粗糙度儀> 臺階儀

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臺階儀

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北京中精儀科技有限公司是一家致力于提供先進的科研生產測試儀器及相關技術咨詢服務的科技企業。

公司多年來秉承著“精益求精”的經營理念,為中國高等院校、科研機構、生產企業配備了大量先進的專業儀器。提供了高水平、專業化的技術產品及高質量的售后服務。

公司銷售的產品涉及到:

(1)材料力學試驗機:摩擦磨損試驗機,耐磨試驗機,真空試驗機,電化學腐蝕試驗機,疲勞試驗機,彎曲扭轉試驗機,微納劃痕儀、壓痕儀,高溫微米壓痕儀等。


(2)材料表面分析 :三維形貌儀,白光干涉儀,激光共聚焦顯微鏡,原子力顯微鏡等。

(3)半導體設備/CMP :原子層沉積系統(ALD),MBE分子束外延系統,激光脈沖沉積(PLD),物理氣相沉積系統(PVD),化學機械拋光設備(CMP)等。

(4)生化儀器:激光拉曼光譜儀等

(5)扭矩測試:多功能扭矩測試儀,電機扭矩測試儀,軸承扭矩測試儀等。


多功能摩擦磨損試驗機,形貌儀,輪廓儀,摩擦儀,

產地類別 進口 應用領域 綜合

臺階儀

臺階儀集合了共焦光學形貌儀,WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測

項 目 簡 述

參數說明

1.共焦

  • 可快速垂直掃描的旋轉共焦技術。

  • 使用高數值孔徑 (0.95) 以及高倍數的 (150) 全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (大斜率<干涉測量>: 72° vs 44°) 。

  • 具有光學形貌上高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的理想配置。

  • 在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制

  • 應用于透明層/薄膜。

  • 兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。

  • 長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

  • 穩定性。

2.干涉儀(WLI)

  • Z向高分辨率

  • 兼具相移(PSI)以及垂直掃描(VSI)模式

  • Z向分辨率可獨立放大

  • 四色CCD 相機,用戶可自選的LED光源 (白光綠光藍光和紅光)

  • 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機

  • 快速處理器

  • 自動對焦

3.原子力顯微鏡

  • 探針掃描可用于大型模板

  • XYZ三向可達原子級分辨率

  • 大壓電探針掃描XY: 達到 110x110um

4.變焦

  • 粗糙表面分析

  • 快速分析

  • 一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡












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