一 、實驗目的

1.了解掃描電子顯微鏡的原理、結構;

2.運用掃描電子顯微鏡進行樣品微觀形貌觀察。

二、實驗原理

掃描電鏡(SEM)是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號。由電子槍發(fā)射的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描線圈驅動下，于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射以及背散射電子等物理信號，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉換成電訊號，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。

三、實驗儀器

日立S3400掃描電子顯微鏡(日本電子株式會社)

四、實驗步驟.

1.樣品的制備

2.儀器的基本操作

1)開啟穩(wěn)壓器及水循環(huán)系統(tǒng);

2)開啟掃描電鏡及能譜儀控制系統(tǒng);

3)樣品室放氣，將已處理好的待測樣品放入樣品支架上;

4)當真空度達到要求后，在一定的加速電壓下進行微觀形貌的觀察。

五、觀察結果