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詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TGkineMI3800B

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

對(duì)于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機(jī)構(gòu)，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)磁浮軸承渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對(duì)策

一種加熱包括目標(biāo)部分在內(nèi)的整個(gè)周圍區(qū)域并分散熱量的方法。它不能被有效地使用。

? 目標(biāo)區(qū)域外的熱效應(yīng)

TGkineMI-B 系列的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率，提高節(jié)能效果！

?減少對(duì)主要部件的熱影響，減少對(duì)泵的損傷。

?保持最佳溫度，防止在排氣管中產(chǎn)生產(chǎn)品。

用

半導(dǎo)體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備
易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備

技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

軸承技術(shù)革新

磁懸浮軸承的普及應(yīng)用

混合陶瓷軸承優(yōu)化

自潤(rùn)滑軸承系統(tǒng)

材料與制造工藝

碳纖維復(fù)合材料轉(zhuǎn)子

3D打印葉輪技術(shù)

超精密加工工藝

智能化發(fā)展

物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程監(jiān)控

AI預(yù)測(cè)性維護(hù)

數(shù)字孿生技術(shù)應(yīng)用

性能提升方向

更高轉(zhuǎn)速設(shè)計(jì)（>90000rpm）

更寬的工作壓力范圍

提高輕質(zhì)氣體抽速

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