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Osaka大阪真空 渦輪分子泵 TGkine3300M-R
Osaka大阪真空 渦輪分子泵 TGkine3300M-R

地:日本

貨物所在地:四川成都市

更新時間:2025/6/19 16:48:46

訪問次數:2

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人:
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話:
86-028-87319898
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真:
86-028-85068959
址:
四川省成都市高新區天府大道中段500-1號天祥廣場C座4527室
化:
www.cosimoinc.com.cn
址:

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供應簡介
渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克(W. Becker)研制成功,現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。


詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine3300M-R

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine3300M-R

渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克(W. Becker)研制成功,現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速(通常300-600m/s)運動,直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,從而在進氣口端產生高真空環境。

  • 半導體制造設備

  • FPD 制造設備

  • 太陽能

  • 電池制造設備

  • 玻璃和鏡頭等光學元件的加工

  • 薄膜加工

  • 加速器/空間環境試驗設備

省電設計

設定參數、運行數據、異常歷史等可以存儲在泵體內。

* 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數據。

各種通信規格 EtherCAT 兼容

國際標準 CE/NRTL/SEMI-S2

渦輪分子泵的典型應用領域

(一)半導體制造

晶圓加工設備(刻蝕、離子注入等)

光刻機真空系統

半導體鍍膜設備

(二)科學研究

高能物理實驗裝置

表面分析儀器(XPS、AES等)

空間環境模擬設備

(三)分析儀器

質譜儀

電子顯微鏡

同步輻射裝置

(四)特種工藝

分子束外延(MBE)

納米材料制備

精密光學鍍膜

(五)新興領域

量子計算研究

核聚變實驗裝置

先進材料研發

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