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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/19 16:41:30
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1003
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1003
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
| 進氣法蘭 | VG150 CF160 ISO-B160 標準 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1000 |
| N2（帶保護網(wǎng)） （升/秒） | 940 | |
| H2 （升/秒） | 1000 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×103 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6/< 1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 2715 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 9-12 |
| 停機時間 | （分鐘） | 9-13 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 300/2.3 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | 500 |
| 潤滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安裝姿勢 | 垂直 （±10°） | |
| 質(zhì)量 | （公斤） | 50 |
| 控制器類型 | TC1003 系列 | |
用
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
* 對于清潔工藝，請選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
渦輪分子泵主要分為兩大類：
復合式渦輪分子泵：結(jié)合渦輪級和牽引級，具有更寬的工作壓力范圍
純渦輪分子泵：全部由渦輪葉片組成，在超高真空下性能更優(yōu)
現(xiàn)代渦輪分子泵通常由電機、轉(zhuǎn)子組件、軸承系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和外殼五大部分組成，采用精密動平衡技術(shù)確保高速運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。
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