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當前位置：> 供求商機> Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D
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干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種無需任何工作液（油或水）參與抽氣過程的機械真空泵，代表了當今真空技術發展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內直接機械運動來實現氣體的壓縮和排出，避免了工作介質對真空環境的污染。干式真空泵技術起源于20世紀80年代，隨著半導體、光伏等精密制造業對清潔真空環境需求的增長而迅速發展成熟。
干式真空泵的典型應用領域
（一）半導體與微電子制造
晶圓加工過程中的刻蝕、CVD、PVD設備
離子注入機的真空系統
光刻機的環境控制
封裝測試環節的真空處理
（二）光伏與平板顯示
太陽能電池鍍膜生產線
LCD/OLED面板制造設備
真空層壓工藝
（三）化工與制藥
高純度藥品的真空干燥
反應釜的抽真空系統
溶劑回收裝置
無菌包裝生產線
（四）科研與制造
電子顯微鏡配套系統
空間環境模擬裝置
核聚變實驗設備
精密光學元件鍍膜
（五）新興技術領域
鋰離子電池真空干燥
氫能源制備與儲存
碳捕集與封存技術
3D打印金屬粉末處理
| 型 | ER100D/ER100DC （耐腐蝕型） | |
| 抽速 （L/min） | 1670 | |
| 測試極限壓力 （Pa） | 5.0 | |
| 極限壓力下的功耗 （W） | 400 | |
| 權力 | 電壓 （V） | 200-220 |
| 頻率 （Hz） | 50/60 | |
| 相數 | 三個階段 | |
| 電源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 吹掃氣體流速 （Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷卻方式 | 水冷式 | |
| 冷卻水量 （L/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷卻水溫度 （°C） | 最多 30 個 | |
| 重量 （kg） | 60 | |
■ 在節能、體積小、輕量化方面是同類產品中干式真空泵之一。
極限壓力下的功耗：400W 占地面積
：0.11m2
重量：60 kg
■ 根據用途提供產品規格。
ER100D：非常適合輕負載排氣和清潔工藝
ER100DC：使用具有高耐腐蝕性的材料來承受腐蝕性氣體排放
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