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干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種無需任何工作液(油或水)參與抽氣過程的機械真空泵,代表了當今真空技術發展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內直接機械運動來實現氣體的壓縮和排出,避免了工作介質對真空環境的污染。干式真空泵技術起源于20世紀80年代,隨著半導體、光伏等精密制造業對清潔真空環境需求的增長而迅速發展成熟。
干式真空泵主要分為五大類型:
爪式干泵(Claw Pump):通過兩個非接觸的爪形轉子反向旋轉實現氣體輸送
螺桿式干泵(Screw Pump):利用一對精密嚙合的螺桿轉子進行氣體壓縮
渦旋式干泵(Scroll Pump):采用固定和運動渦旋盤間的容積變化抽氣
多級羅茨式(Multistage Roots):多級羅茨轉子串聯實現逐級壓縮
隔膜式(Diaphragm Pump):通過彈性膜片往復運動產生抽氣作用
進氣法蘭 | 50A JIS10KFF | |||
標稱抽速 50/60Hz | m3/小時 | 90 | ||
升/分鐘 | 1500 | |||
可連續運行,可產生進氣壓力 | 千帕斯卡 | ≦7 | ||
測試極限壓力 | 帕 | 0.7 | ||
允許排氣口壓力 | 千帕斯卡 | ≦120 | ||
排氣極限,最高可達 可連續運行的入口壓力(近似值)※1 | 時間 (min) | ≦30 | ||
體積 (m3) | ≦15 | |||
轉速 50/60Hz | r/min | 410 | ||
標準電機輸出 | 千瓦 | 2.2 | ||
油量 | L | 5 | ||
冷卻水量 | m3/小時 | 風冷 | ||
質量 | 全封閉室外通風風扇室內電機 | 公斤 | 185 | |
無電機 | 公斤 | 165 |
可以在低真空范圍內連續運行。
■ 可承受惡劣的抽空循環
堅固的排氣閥
■ 可檢查油循環狀態的視鏡
■ 允許您檢查油位的油位計
■ 環保型油分離器
■ 排氣閥室,便于檢查和維護
■ 大清潔口,便于清潔油箱
■ 排油閥,方便廢油處理
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品: 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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