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YP-150IYAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈
| 參考價(jià): | ￥ 5000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- YP-150I 產(chǎn)品型號(hào)
- YAMADA DOBBY/山田 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：122更新時(shí)間：2025-05-30 18:10:41
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 供貨周期 | 一個(gè)月 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的專業(yè)照明設(shè)備，專門設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié)。
產(chǎn)品介紹
YAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈 YP-150I
YAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈 YP-150I
半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的專業(yè)照明設(shè)備，專門設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮小（從微米級(jí)發(fā)展到現(xiàn)在的納米級(jí)），對(duì)晶圓表面缺陷的檢測(cè)要求越來(lái)越高，專業(yè)的檢查照明系統(tǒng)成為確保芯片良率的關(guān)鍵因素之一。
現(xiàn)代半導(dǎo)體晶圓檢查燈采用優(yōu)良的光學(xué)技術(shù)和精密的光源設(shè)計(jì)，能夠提供均勻、穩(wěn)定且特定波長(zhǎng)的高質(zhì)量照明，幫助檢測(cè)人員或自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)識(shí)別晶圓表面的微粒污染、劃痕、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況。這些設(shè)備通常集成在潔凈室環(huán)境中，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。
半導(dǎo)體晶圓檢查燈的特點(diǎn)
1. 精密光譜控制
半導(dǎo)體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力，可提供特定波長(zhǎng)的單色光或多色光組合。不同波長(zhǎng)的光對(duì)各類缺陷的顯現(xiàn)效果不同，例如短波長(zhǎng)光（如紫外或深藍(lán)光）對(duì)微小顆粒和表面拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)更敏感，而長(zhǎng)波長(zhǎng)光可能更適合檢測(cè)某些薄膜缺陷。
2. 高均勻性照明
檢查燈設(shè)計(jì)確保照明區(qū)域內(nèi)的光強(qiáng)分布高度均勻，通常均勻性可達(dá)90%以上，避免因照明不均導(dǎo)致的檢測(cè)誤差。優(yōu)良的導(dǎo)光技術(shù)和光學(xué)擴(kuò)散系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這一特性的關(guān)鍵。
3. 可調(diào)光強(qiáng)與穩(wěn)定輸出
設(shè)備提供寬范圍的光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能，同時(shí)保持出色的光強(qiáng)穩(wěn)定性（通常波動(dòng)小于1%），確保長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)過(guò)程中的一致性，避免因光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的誤判。
4. 多角度照明設(shè)計(jì)
專業(yè)的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項(xiàng)，包括同軸光、環(huán)形光、側(cè)向光、暗場(chǎng)照明等不同模式，以適應(yīng)不同類型缺陷的檢測(cè)需求。例如，同軸光適合表面污染檢測(cè)，而暗場(chǎng)照明對(duì)劃痕和拓?fù)淙毕莞舾小?/p>
5. 潔凈室兼容性
檢查燈采用無(wú)塵設(shè)計(jì)，材料選擇上避免產(chǎn)生微粒污染，符合ISO 14644-1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)具備低發(fā)熱特性，減少熱對(duì)流對(duì)潔凈室氣流的影響。
6. 智能化控制
現(xiàn)代設(shè)備配備數(shù)字控制系統(tǒng)，支持預(yù)設(shè)照明方案、自動(dòng)調(diào)節(jié)、遠(yuǎn)程控制等功能，并能與自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)無(wú)縫集成，實(shí)現(xiàn)高效的工作流程。
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