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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 5千-1萬 |
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應用領域 | 綜合 |
真空計(Vacuum Gauge),又稱真空壓力計或真空規,是一種用于測量真空系統內氣體壓力的儀器
SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計 PG-2BM
SATOVAC佐藤 皮拉尼真空計 PG-2BM
真空計(Vacuum Gauge),又稱真空壓力計或真空規,是一種用于測量真空系統內氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內氣體分子的物理特性變化,通過傳感器將壓力信號轉換為電信號,最終以數字或模擬方式顯示真空度。真空計廣泛應用于科研、工業制造、半導體、航空航天等領域,是真空技術的關鍵測量設備。
它是一種使用的皮拉尼球體覆蓋低真空范圍的皮拉尼真空計,測量范圍為 0.14Pa~2.6kPa。 由于采用固態電路,即使在電源波動 (90V~110V) 的情況下也能表現出極其穩定的運行,并提供可靠的測量值。
真空計的應用領域
真空計在多個行業的關鍵環節中發揮著重要作用:
1. 半導體與電子制造
用于晶圓加工、薄膜沉積、離子注入等工藝,確保高真空環境(10?? ~ 10?? Pa)的穩定性。
在真空封裝(如MEMS傳感器)中監測殘余氣體壓力。
2. 工業制造與材料處理
真空爐:在金屬熱處理、燒結過程中控制真空度,防止氧化。
真空鍍膜:監測PVD(物理氣相沉積)、CVD(化學氣相沉積)設備的真空環境。
3. 科研與實驗室
高能物理實驗(如粒子加速器)需要超高真空(<10?? Pa)環境。
空間模擬艙:模擬太空環境,測試航天器部件的真空適應性。
4. 醫療與生物技術
冷凍電鏡(Cryo-EM)需要高真空環境以保持樣本穩定性。
真空滅菌設備中監測壓力,確保滅菌效果。
測量范圍 | 2×103~2×10-1Pa (2 個量程) |
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壓力單位 | 帕 |
記錄器輸出 | 滿量程 10 mV |
電源電壓 | AC100V±10% 50Hz/60Hz 8VA |
尺寸 | 寬217×深135×高100 毫米 |
質量 數量 | 2.2 千克 |
統治者 | PW-2 φ15 儀表端口安裝 |