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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
油擴散真空泵蒸發加熱的油以產生油蒸氣。 這種油蒸氣通過噴嘴高速注入并與氣體分子碰撞。
產品介紹
ULVAC愛發科 油擴散泵 真空 ULK-14A
ULVAC愛發科 油擴散泵 真空 ULK-14A
油擴散真空泵蒸發加熱的油以產生油蒸氣。 這種油蒸氣通過噴嘴高速注入并與氣體分子碰撞。 碰撞的氣體分子在油蒸氣流中向排氣口移動，從而產生真空。 這個過程非常有效，尤其是在需要高真空的應用中。
油擴散真空泵可以實現 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空，與其他高真空泵相比，安裝經濟上容易，初始成本低，并且由于結構簡單，具有可靠性和耐用性，可長期提供穩定的性能。 它廣泛應用于研發等各個領域。
愛發科的 ULK 型油擴散泵是一種高真空排氣泵，其設計具有大臨界背壓和小尺寸。
它被廣泛用于從研究應用到生產線。
長處
它是一種堅固的高真空泵，沒有機械滑動部件。
兩種類型的油和加熱器的選擇將使您達到所需的抽速和極限壓力。
它配備了一個機構，以防止液壓油流向輔助泵側。
用
?氣相沉積設備
、高真空實驗室設備
| 型 | ULK-04A 系列 | ULK-06A 系列 | ULK-10A 型 | ULK-14A 型 | |||||||
| 抽速 | 550 升/秒 | 500 升/秒 | 1200 升/秒 | 1100 升/秒 | 3400 升/秒 | 3000 升/秒 | 5400 升/秒 | 4900 升/秒 | |||
| 極限壓力 *1 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | <2.6×10-5 帕 | <2.6×10-6 帕 | |||
| 臨界背壓 | 40 帕 | 60 帕 | 40 帕 | 60 帕 | 35 帕 | 40 帕 | 30 帕 | 30 帕 | |||
| 開始時間 | 9 分鐘 | 8.5 分鐘 | 16.5 分鐘 | 15 分鐘 | 20 分鐘 | 20 分鐘 | 25 分鐘 | 25 分鐘 | |||
| 液壓油 *2 | ULVOIL D-11，SX 系列 | ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31） | ULVOIL D-11，SX 系列 | ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31） | ULVOIL D-11，SX 系列 | ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31） | ULVOIL D-11，SX 系列 | ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31） | |||
| 油量 | 0.15 升 | 0.35 升 | 0.8 升 | 1.5 升 | |||||||
| 水溫 | 19°C ~ 25°C | ||||||||||
| 冷卻水（ 尺寸×系統數量） | 遙控 1/4" | 遙控 1/4" | 遙控 3/8" | 遙控 3/8" | |||||||
| 冷卻水量 | 1 升/分鐘 | 1 升/分鐘 | 1.5 升/分鐘 | 2.5 升/分鐘 | 3 升/分鐘 | 2.5 升/分鐘 | 3.5 升/分鐘 | ||||
| 電壓規格 | 200V / 1Φ | ||||||||||
| 電源要求 | 0.55 千瓦 | 0.73 千瓦 | 0.9 千瓦 | 1.2 千瓦 | 2.4 千瓦 | 2 千瓦 | 2.25 千瓦 | 2.4 千瓦 | |||
| 加熱器類型 | 熱板 | 熱板 | 熱板 | 熱板 | |||||||
| 推薦輔助泵 *3 | VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 系列 | VD30C / VD40C / VD60C | VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030 | VS1501 / VS2401 / PKS-030 | |||||||
| 外徑 *4 | 一個 | 175 毫米 | 250 毫米 | 340 毫米 | 340 毫米 | ||||||
| B | 150 毫米 | 180 毫米 | 240 毫米 | 240 毫米 | |||||||
| H | 346 毫米 | 454 毫米 | 650 毫米 | 670 毫米 | |||||||
| 進氣口 | VG100 系列 | VG150型 | VG250 系列 | VG350型 | |||||||
| 排氣口 | VG25型 | VG40 系列 | VG80型 | VG80型 | |||||||
| 質量 | 7.5 千克 | 13.5 千克 | 47 千克 | 56 千克 | |||||||
| 油位計 | 沒有 | 沒有 | 視窗 | 視窗 | |||||||
| 恒溫器 選項 | 存在 | 存在 | 存在 | 存在 | |||||||
| 恒溫器 設定溫度 | 250 °攝氏度 | 250 °攝氏度 | 180 攝氏度 | 180 攝氏度 | |||||||
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