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3C閥門類別 | 工業 | 工作溫度 | 其他 |
---|---|---|---|
類型(通道位置) | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
流動方向 | 其他 | 壓力環境 | 其他 |
應用領域 | 綜合 | 種類 | 其他 |
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統中控制氣體流動、調節壓力或隔離真空環境的閥門。
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160
L 型閥
AB/AE/ABR/AER 系列
軸封方式(波紋管密封、O 形圈密封)可根據使用目的選擇。
16A~50A 可用于單作用和雙作用。
所有尺寸均與反壓兼容。
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統中控制氣體流動、調節壓力或隔離真空環境的閥門。由于真空系統對密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴格要求,真空閥的設計與普通閥門有顯著區別。
真空閥根據工作原理可分為:
截止型真空閥(如真空擋板閥、真空蝶閥)——用于切斷或接通氣流。
調節型真空閥(如真空微調閥、針閥)——用于精確控制氣體流量和壓力。
放氣閥(如真空破空閥)——用于向真空腔體引入大氣,平衡壓力。
真空閥廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫療設備等領域,是真空系統的關鍵組件。
真空閥的特點
特殊密封結構
金屬密封(如銅墊圈、無氧銅刀口密封)適用于超高真空(UHV)環境,橡膠密封(如氟橡膠、丁腈橡膠)適用于中低真空。
無油設計
高潔凈真空閥采用干式(無潤滑)結構,避免油蒸氣污染真空環境,適用于半導體和光學鍍膜行業。
多種驅動方式
手動、氣動、電動或電磁驅動,適應不同自動化需求。
真空閥的優點
超高密封性
采用金屬密封或氟橡膠(FKM)等特殊材料,確保閥門在超高真空(≤10?? Pa)環境下仍能保持極低泄漏率。
部分高精度真空閥采用波紋管密封,避免閥桿處泄漏。
低放氣率
閥體和密封材料經過特殊處理(如電拋光、鍍鎳或烘烤除氣),減少材料在真空環境下的氣體釋放。
耐壓差能力強
可承受從大氣壓(10? Pa)到超高真空(10?? Pa)的巨大壓差,確保閥門在開關過程中不發生變形或泄漏。