聯系電話
高斯摩(成都)國際貿易有限公司
中級會員·1年
具體成交價以合同協議為準
- 聯系人：
- 李科霖
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機：
- 15520810088
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川省成都市高新區天府大道中段500-1號天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.com.cn
掃一掃訪問手機商鋪
產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3102L-TC
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3102L-TC
質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業設備。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。
型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯控）
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 | |
| Low | 80～100℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
技術發展趨勢
智能化升級：
集成AI預測性維護功能
5G遠程監控與參數優化
微型化發展：
MEMS流量傳感器（芯片級集成）
適用于便攜式分析儀器
相關產品
-
￥25150 -
￥25390 -
￥25380
-
￥25370
