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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-7200C
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-7200C
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的，Ru、Rd與 R 保持一定的溫度，當氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。
內置微處理器提高處理效能微處理器記錄質量流量控制需各部的輸入及輸出變化。以對比方式斷有異常狀況時，會提出警告。利陽自動化流量校正以及需點校正技術，提供高度質量穩定的產品，控制閥采用隔膜閥，閉死容積極小
氣體隔膜隔離閩體及驅動裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設計，可以增強氣體的流通，降低污染物影響，使設備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優勢。
品規格表
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
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