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產地類別 | 進口 | 產品種類 | 超聲波 |
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價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
接液部分采用耐藥性良好的NewPFA,流路為簡單的直線結構,管內無障礙物,易于維護。集顯示器于一體,只需接通電源即可測定流量,*高精度可達F.S.5L/min。
KOFLOC科賦樂 超音波流量計
KOFLOC科賦樂 超音波流量計
接液部分采用NewPFA,清潔型結構
直線型流路,避免不必要的壓力損失,且易于維護
小型輕巧、設計精巧
集顯示器于一體,只需接通DC24V電源即可測定流量
可測定高粘度液體
技術優勢
熱式技術(氣體):
基于熱擴散原理,直接測量氣體質量流量(無需溫壓補償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導體工藝氣體控制)。
壓差式技術(液體):
通過層流元件產生壓差,線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計:接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能:
數字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報警(流量超限、傳感器異常)。
典型應用場景
半導體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩定性±0.5%,響應時間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6)。
光伏產業
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰:硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風險。
方案:全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
測定對象 | 水、純水(不包括氣泡) ※其他液體請咨詢 | |||||
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流體音速 | 1300m/s?1600m/s | |||||
流體溫度范圍 | 15?50℃ | |||||
測定范圍 | 0?5L/min) | |||||
測定精度 | 參考表1 | |||||
允許周圍溫度 | 0?50℃ | |||||
接液部分材質 | New PFA | |||||
耐壓 | 0.5MPa (at23℃) | |||||
工藝連接件 | 6mm管端 | |||||
專用電纜長度 | 3mm | |||||
電纜外皮 | PVC | |||||
結構 | 與IP64同等 | |||||
周圍溫度 | 5~50℃(不會結露) | |||||
環境濕度 | 10~85%RH以下(不會結露) | |||||
安裝方向 | 垂直、水平、傾斜 | |||||
重量 | 200g(主機) |