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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
氣體混合專用流量計應用了
產品介紹
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
結構簡單，易于維護。
精密針閥可輕松實現流量的微調。
有2~4種成分，能夠制作各種氣體、流量范圍等。
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準） 其他氣體在轉換后進行校準，實際氣體校準請另行咨詢 |
|---|---|
| 流量范圍 | 5~50ML/MIN至1~10L/MIN 1線10L/MIN以下，總流量20L/MIN以下 |
| 精度 | FS±2％（計量點） ※可選 FS±1%（計量點） |
| 耐壓 | 0.5MPa |
| 有效刻度 | 10：1 ※可選20：1 |
| 材質 | SS制 | BS制 | |
|---|---|---|---|
| 主機區塊 | SUS316 | 黃銅 | |
| 錐形管 | 硬質玻璃 | ||
| 密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
| 浮標 | 硬質玻璃、SUS316 | ||
| 保護罩 | 丙烯 | ||
| 最高使用溫度 | 60℃ | ||
| 連接端口 | Rc1/4（標準） | ||
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