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【高斯摩分享】科賦樂得質量流量計介紹

2025-5-22  閱讀(47)

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1. 公司背景

KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商,專注于質量流量計(MFM)質量流量控制器(MFC)精密閥門的研發生產,產品以高精度、低壓損、長壽命著稱,廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。

2. 技術優勢

  • 熱式技術(氣體)

    • 基于熱擴散原理,直接測量氣體質量流量(無需溫壓補償)。

    • 低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導體工藝氣體控制)。

  • 壓差式技術(液體)

    • 通過層流元件產生壓差,線性輸出流量信號。

    • 耐腐蝕設計:接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。

  • 智能功能

    • 數字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。

    • 自診斷報警(流量超限、傳感器異常)。

3. 典型應用場景

3.1 半導體制造

  • 案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。

    • 要求:流量穩定性±0.5%,響應時間<1秒。

    • 配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6)。

3.2 光伏產業

  • 案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。

    • 挑戰:硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風險。

    • 方案:全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。

3.3 醫療設備

  • 案例:呼吸機氧氣流量監測(Mini系列)。

    • 關鍵參數:0.1~10 SLM范圍,醫用級潔凈度(ISO 13485認證)。

3.4 化工流程

  • 案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。

    • 材質選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。


4. 選型與安裝指南

4.1 選型關鍵參數

  1. 介質類型

    • 氣體:需明確分子量(影響熱式傳感器校準)。

    • 液體:考慮粘度(壓差式適用<50 cP)。

  2. 流量范圍

    • 實際流量應處于量程的10%~90%(避免低端非線性區)。

  3. 環境要求

    • 防爆(化工)、潔凈度(醫療)、IP防護等級(戶外)。

4.2 安裝注意事項

  • 氣體流量計

    • 安裝方向:垂直向上(避免冷凝液積聚)。

    • 前后直管段:≥5D(前)、≥3D(后)。

  • 液體流量計

    • 避免氣泡干擾(頂部安裝排氣閥)。

    • 泵振動隔離(軟管連接減震)。

4.3 校準與維護

  • 定期校準

    • 氣體:使用皂膜流量計或標準氣體(如NIST可溯源)。

    • 液體:稱重法或容積法校準。

  • 傳感器維護

    • 熱式:每年清潔探頭(異丙醇擦拭)。

    • 壓差式:檢查層流元件是否堵塞。


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