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設備名稱：高精度氣體標定儀

適用研究方向：面向MFC生產廠商及需要大批量測試MFC性能的量產及研發部門。

設備功能：高精度氣體標定儀通過觸摸屏工控機與用戶交互，只需要用戶執行任務，并選擇接口形式，通過客戶開始標定指令進行全自動流量精度采集，并顯示實時精度及響應曲線，最終檢測各項MFC指標打印紙質報告。

技術特點：

◆以ARM架構設計的MCU為控制單元，輔助多種采集卡，實現多通道高速采集；

◆平臺能夠同時檢測多路MFC并提供多種接口屬性；

◆能夠實現多種接口形式MFC的檢測，接口包括Devicenet，Profibus，模擬電壓，模擬電流，RS485，ZIGBEE無線控制；

◆能夠檢測的指標包括：精度、重復度、線性度、響應時間、零漂主要參數；

◆能夠通過集成的打印機與工控機相連，直接將檢測報告打印成書面形式。

主要參數：

◆流量范圍：0-300SLM

◆氣體：N2空氣等常規無強腐蝕氣體

◆壓力范圍：1MPa以內進氣壓力