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產品介紹
HORIBA堀場全新熱分流器玉科精品優選
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熱分流器
FS-3000 結合了 HORIBA STEC 的質量流量控制器 （MFC） 和 MuCube（主控制器）。FS-3000 通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，實現了穩定的分光控制。
該控制算法通過控制流速比實現穩定的流速分流控制，同時使用 HORIBA STEC 的控制優化技術控制 FS-3000 的上游壓力。此外，即使改變分流比，控制算法也能實現對流速分流的高速響應。
提高可擴展性、維護性能 FS-3000 支持通過高速信號處理分離多達 15 個流道。當 MFC 發生故障時，只需更換發生故障的從站即可修復 FS-3000。
靈活響應所需規格 FS-3000 支持多種氣體，包括混合氣體。此外，FS-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 作為用戶界面。
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