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供貨周期	現(xiàn)貨

日本SIMCO思美高負(fù)離子器

Simco-Ion 的 AeroBar 5635 調(diào)制脈沖電離棒專(zhuān)為消除半導(dǎo)體和其他需要快速放電時(shí)間、低擺幅電壓和精密平衡的超潔凈制造工藝中的靜電荷而設(shè)計(jì)。5635 型采用 MP 技術(shù)，將高頻正弦波與調(diào)制脈沖（MP）相結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)高離子輸出和傳輸。這項(xiàng)突破性技術(shù)使 AeroBar 能夠安裝在晶圓 150 mm 以?xún)?nèi)。MP 技術(shù)與超潔凈硅發(fā)射點(diǎn)和精密調(diào)節(jié)相結(jié)合，可提供 ISO 14644-12 電離（0.01 μm 顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 1 級(jí)（0.1 μm 顆粒）清潔度，這對(duì)于較小的技術(shù)節(jié)點(diǎn)至關(guān)重要。

擴(kuò)展 ISO 1 級(jí) （10 nm）顆粒清潔
調(diào)制脈沖技術(shù)
出色的橫向均勻性
低場(chǎng)電壓
空氣輔助功能
可選軟件，界面易于使用，可調(diào)節(jié)性廣
報(bào)警輸出信號(hào)

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規(guī)格

電壓	輸入：24 VDC ±10% 功率輸入 RJ-45;0.7A（最大值）輸出：13.5 kV p-p（最大值），可調(diào)
放電	15 秒內(nèi) ±1000-100V（典型值），無(wú)空氣輔助，發(fā)射極中心點(diǎn)組下方 24“ 處 Vp-p 擺動(dòng)為 80
平衡	<±35V 在受控環(huán)境中以 18“ 距離測(cè)量
離子發(fā)射	調(diào)制脈沖（MP）技術(shù)
發(fā)射	ISO 14644-1 1 類(lèi)單晶硅
潔凈室類(lèi)	ISO 14644-1（0.1 μm 顆粒）和擴(kuò)展的 ISO 1 級(jí)清潔度（10 nm 顆粒或納米顆粒），使用 45-50% 輸出電壓設(shè)置和帶有單晶硅發(fā)射器的 OpenJet 噴嘴
尺寸	3.1 英寸（高）x 1.3 英寸（寬）x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸長(zhǎng)（7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米）

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