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Festo 費斯托在半導體行業(yè)中的解決方案
Festo – 為半導體行業(yè)提供一站式解決方案
在半導體制造這個快節(jié)奏的世界里，精確度至關重要。半導體行業(yè)由技術進步所推動，任何微小的變化都可能對產(chǎn)品的質量和性能產(chǎn)生重大影響。而氮氣吹掃技術就是這一領域的無名英雄，為半導體生產(chǎn)過程帶來了眾多益處。
氮氣吹掃的優(yōu)勢與半導體材料本身一樣。通過利用氮氣的特性，你可以實現(xiàn)更高的產(chǎn)量、更優(yōu)的產(chǎn)品質量、更長的設備使用壽命，以及更安全、更可持續(xù)的生產(chǎn)過程。想要了解如何實施氮氣吹掃系統(tǒng)以減少高達4%的碳排放量。
產(chǎn)品一：
質量流量調節(jié)閥 VEMD、
得益于比例閥，動態(tài)質量流量調節(jié)閥 VEMD 運行噪音極低。 帶傳感器的集成式電子元件按比例對空氣、氧氣、氮氣、氬氣和二氧化碳的流量進行檢測、調節(jié)和計量。
質量流量調節(jié)閥 (MFC)，帶熱流量傳感器和集成控制電子裝置
動態(tài)調節(jié)，響應時間短
工作介質：空氣、氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳
當前流量值可通過接口獲得
適用于許多需要調節(jié)惰性氣體或氧氣的應用
通過高效控制實現(xiàn)可持續(xù)運行
產(chǎn)品二：
用于 VYKA 的電氣連接元件 VAVE-K1
用于介質分離式電磁閥 VYKA
帶保持電流降低功能
應用：控制和調節(jié)冷卻回路
您面臨的挑戰(zhàn)：在半導體制造過程中可靠地調節(jié)冷卻液
Festo 的解決方案：
閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質的氣控閥
CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來控制電控閥、集成傳感器或創(chuàng)建閉環(huán)控制回路。此閥島還可用于執(zhí)行診斷和遠程維護功能。
氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質流量。即使在閉環(huán)控制回路中，也能可靠、準確地調節(jié)非常冷和/或熱的介質。
角行程驅動器 DFPD (4)驅動 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質的主管線和進/出管線的大流量翻板閥。
SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準確地測量介質流量以及溫度和壓力。
Festo 為制造電子元件的機器提供了廣泛的產(chǎn)品組合：具有集成安全功能的閥島 VTOC 或我們的比例壓力閥 VEAA/VEAB（用于對通常控制或調節(jié)工藝氣體的介質閥進行先導控制）。
閥島 VTOC
緊湊型先導閥島適用于各種氣動應用。加上互鎖選項，提高安全性。VTOC通過多針或現(xiàn)場總線接口控制，也適用于10-Link®,
比例壓力閥 VEAA
壓電技術使 VEAA 極其精確，使用壽命長，壓力范圍高達 10bar。其他優(yōu)點包括極短的切換時間、安靜的運行和極低的功耗。
比例壓力閥 VEAB
壓電技術使 VEAB 極為精確，使用壽命長，壓力范圍高達6bar。其他優(yōu)點包括極短的切換時間、安靜的運行和極低的功耗。
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溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。
