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AE Navigator 3013 RF Match 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)快速、精確、可靠的數(shù)字調(diào)諧匹配，使用先進(jìn)的數(shù)字技術(shù)可縮短調(diào)諧和匹配響應(yīng)時間。Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制，可在脈沖時調(diào)諧，通過集成的內(nèi)部射頻傳感器深入監(jiān)測等離子體。內(nèi)部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件，可通過用戶計算機進(jìn)行監(jiān)測和控制。

技術(shù)參數(shù)

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優(yōu)點

1.快速調(diào)諧和縮短匹配響應(yīng)時間

2.加強過程控制

3.提高設(shè)備效率和產(chǎn)品產(chǎn)量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數(shù)字架構(gòu)，采用基于模型的快速調(diào)諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調(diào)失真（IMD）抗擾，針對多頻率應(yīng)用

5.實時工藝功率和阻抗測量