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AE 射頻電源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW RF Generator 是經過長期現場驗證具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源。AE HFV Series 射頻電源的特點有數字合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率為3KW、5KW 和 8 KW。此外，該系列電源設備輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz。固件上的頻率調諧參數可進行定制，以確保在各種真空室結構和工藝方法下的可重復運行。

AE 射頻電源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：HFV-8000

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，400~480V，50/60Hz，11kW

RF 電源輸出：1.765~2.165MHz，5000W，640V

通訊接口：Generator User

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX進水水壓 75PSI，5.2kPa（5.2Bars）

AE HFV-8000 優點

1.提高了 run-to-run 準確性

2.具有通用性

3.提高了可靠性

4.增強了工藝靈活性

5.降低了持有成本

AE HFV-8000 特點

1.可定制的頻率調諧參數

2.輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz

3.有3kW、5kW和8 kW 的輸出功率

4.數字合成頻率輸出

5.微處理器控制