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MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是專為低流量，高臭氧濃度的如ALD等應(yīng)用設(shè)計(jì)的。AX8560結(jié)合MKS的高濃度、超清潔臭氧產(chǎn)生技術(shù)，集成臭氧濃度監(jiān)測(cè)，流量控制，以及所有獨(dú)立操作所需的儀表和調(diào)節(jié)器。該子系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，可以獨(dú)立，機(jī)架安裝或集成到AX8555多通道臭氧輸送系統(tǒng)。

優(yōu)秀的MKS臭氧發(fā)生器電池技術(shù)通過無(wú)聲放電將純氧轉(zhuǎn)化為臭氧，達(dá)到可用的高臭氧濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮?dú)猓h(yuǎn)遠(yuǎn)低于其他臭氧發(fā)生器所需的氮?dú)馑?，因此最終產(chǎn)生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 規(guī)格

類型：臭氧氣體發(fā)生器

臭氧輸出：26~180g/hr

流速：0.5~5slm

原料氣：6級(jí)或是更好的氧氣；20~100ppm 5級(jí)或更好的氮?dú)?/span>

額定腔室壓力：10~45psig（0.7~3.1bar）

壓力：20~30psig

水冷溫度：17~23℃

水冷過濾：100微米

水冷水質(zhì)：電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：0.95~6.65L/min

AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，5~12A MAX，50/60Hz

設(shè)備重量：40kg（88LB）

尺寸規(guī)格：482 * 429 * 267 mm